附表1

測(cè)頭技術(shù)參數(shù)：

測(cè)頭型號(hào)		F400		F1	F1/90	F10	N1		CN02
工作原理		磁感應(yīng)					電渦流
測(cè)量范圍（um）		0-400		0-1250		0-10000	0-1250(銅上鍍鉻0-40um)	10-200
低限分辨力(um)		0.1		0.1		10	0.1	1
示值誤差	一點(diǎn)校準(zhǔn)(um)	±[3%H+1]				±[3%H+10]	±[3%H+1.5]	±[3%H+1]
	兩點(diǎn)校準(zhǔn)(um)	±[(1～3)%H+0.7]	±[(1～3)%H+1]			±[(1～3)%H+10]	±[(1～3)%H+1.5]	-
測(cè)量條件	*小曲率半徑(mm)	凸 1	凸1.5		平直	10	3	平直
	基體*小面積的直徑(mm)	ф3	ф7		ф7	ф40	ф5	ф7
	*小臨界厚度(mm)	0.2	0.5		0.5	2	0.3	無(wú)限制